半导体检测型高级金相显微镜NJL(F)-1

     该集光机技术、数码技术、图象分析及自动控制于一体,是对传统金相显微镜进行信息化改造的当代高科技产品。适用于IT产业中对硅晶体、硅片、芯片、集成电路及LCD液晶薄膜等进行细微观察及数据检测。该项目研究包括NJL-1(透反射)正置式金相显微镜、NJF-1(反射式)金相显微镜、NJL-D三维电动金相显微镜及其光电成像、数码集成全自动技术的研究等。
    该产品是一种带透射光及落射光并配以明场、暗场及偏光的全自动系统的金相显微镜。仪器采用无穷远光学系统和特殊设计平视场物镜。解决了一直困扰光学系统质量的杂光“鬼像”问题,极大提高了系统成像质量。应用了机电一体化的控制技术代替原来的显微镜手动控制的机械操作,将自动聚焦功能引入该金相显微镜,大大提高了调焦的稳定性。采用激光匀速轨迹球技术操作X、Y轴,使得X、Y轴运转平稳,均匀、控制精度高。通过对光学元件、CMOS传感器、LCD液晶显示技术及数码相机原理的集成,将传统光学显微镜与图象分析及数字技术高度结合起来。采用多种接口使之可以分别用目视观察或数字化图像输出。以大量金相专业标准为基础,开发出具有100多项金相检测和评定功能的金相颗粒测量软件。
    该产品从2005年到2007年,新增销售额13418万元,新增利润2767万元,上交利税1414万元,创外汇1393万美金,国内外市场前景广阔。
    该产品技术的产业化,对推动金相、矿相及集成电路等工业领域的科学研究,以光电图像检测替代传统的光学显微镜检测,具有极其重要的意义。